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介绍了微／纳米技术和微型机械技术这一新兴学科的重要意义，主要技术内容和当前国内外研究发展２。
微机械技术发展现状
【摘 要】
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介绍了微／纳米技术和微型机械技术这一新兴学科的重要意义，主要技术内容和当前国内外研究发展２。
【机 构】
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精密仪器系
【出 处】
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哈尔滨工业大学学报
【发表日期】
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1997年6期
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