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本文介绍电子束蒸发的基本原理、关键技术以及一些典型应用实例。
电子束蒸发技术
【摘 要】
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本文介绍电子束蒸发的基本原理、关键技术以及一些典型应用实例。
【机 构】
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机械电子工业部第四十四研究所,机械电子工业部第四十四研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1991年01期
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