掩模缺陷规范造成的器件成品率和可靠性问题

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【摘要】

：

掩模缺陷规范造成的器件成品率和可靠性问题＝Ｄｅｖｉｃｅｙｉｅｌｄａｎｄｒｅｌｉａｂｉｌｉｔｙｂｙ．ｓｐｅｃｉｆｉｃａ－ｔｉｏｎｏｆｍａｓｋｄｅｆｅｃｔｓ［刊，英］／Ｗｉｌｅｙ，Ｊ．Ｎ…／／ＳｏｌｉｄＳｔａｔｅＴｅｃｈｎｏｌ．－１９９３．３６（７）．－... Device defect rate and reliability issues caused by mask defects specification = Deviceyieldandreliabilityby.

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

：

1994年04期

【关键词】

：

掩模常用技术

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