组合离子注入的杂质浓度分布与损伤分布比较

来源 :辽宁大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chchchop

【摘要】

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用LSS理论,计算了注入能量为180keV,注入剂量为1×1013～5×1015ion/cm2的N+2/As+组合离子注入Si的杂质浓度分布,由X射线衍射的运动学理论,利用多层模型和试探应变函数

【作者】

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韩宇张宏姜树森

【机构】

：

辽宁大学

【出处】

：

辽宁大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2004年1期

【关键词】

：

组合离子注入杂质浓度分布损伤分布双晶x射线衍射晶格应变 compound ion-implanted DCD lattice strain impur

【基金项目】

：

辽宁省辽阳市科技局资助项目

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用LSS理论,计算了注入能量为180keV,注入剂量为1×1013～5×1015ion/cm2的N+2/As+组合离子注入Si的杂质浓度分布,由X射线衍射的运动学理论,利用多层模型和试探应变函数拟合X射线衍射曲线,得到了晶格应变随注入深度的分布,并将二者进行了比较.结果表明N+2/As+组合离子注入单晶Si的应变分布曲线为单峰,位于杂质浓度分布曲线的双峰之间,靠近重离子峰.

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