【摘 要】
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采用热丝化学气相沉积方法，以Ar＋CH4＋H2混合气体作为气源，通过改变氩气浓度，在单晶硅（100）基片上沉积纳米金刚石膜；采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射仪和拉曼光谱仪等分
【机 构】
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大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,德国锡根大学材料工程学院
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采用热丝化学气相沉积方法，以Ar＋CH4＋H2混合气体作为气源，通过改变氩气浓度，在单晶硅（100）基片上沉积纳米金刚石膜；采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射仪和拉曼光谱仪等分析了纳米金刚石膜的形貌、微结构以及残余应力。结果表明：随着氩气浓度的增大，膜的晶粒尺寸逐渐减小到纳米级；由于晶粒细化导致膜内残余应力由拉应力变为压应力，并且压应力随氩气浓度的增大呈现先增大后减小的趋势；当氩气体积分数为98％时，即在贫氢的气氛中成功获得了平均晶粒尺寸为54nm、均方根粗糙度约为14．7nm的纳米金刚石膜。
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