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由微悬臂梁结构组成的红外焦平面阵列（FPA）是基于微机电系统结构的非制冷型红外成像系统的核心技术。通过对Al／SiNx双材料体系的理论分析，得出了微悬臂梁的热机械性能与双层梁的厚度比之间的关系。
双金属微悬臂梁的选材及热机械性能分析
【摘 要】
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由微悬臂梁结构组成的红外焦平面阵列（FPA）是基于微机电系统结构的非制冷型红外成像系统的核心技术。通过对Al／SiNx双材料体系的理论分析，得出了微悬臂梁的热机械性能与双层梁的
【机 构】
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扬州市职业大学
【出 处】
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深圳职业技术学院学报
【发表日期】
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2007年2期
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