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以纳米Er2O3粉为原料，通过1450℃低温无压烧结，成功制取了相对密度为近90％的高纯Er2O3陶瓷靶材。对采用不同形状纳米Er2O3粉所制靶材进行了断口形貌分析及密度测试，相关结果表明，以三维近球形纳米Er2O3粉为原料，在低温无压下烧结所制得靶材的性能较优。
高纯Er2O3靶材的低温无压烧结及性能研究
【摘 要】
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以纳米Er2O3粉为原料，通过1450℃低温无压烧结，成功制取了相对密度为近90％的高纯Er2O3陶瓷靶材。对采用不同形状纳米Er2O3粉所制靶材进行了断口形貌分析及密度测试，相关结果表明，
【机 构】
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湖南稀土金属材料研究院
【出 处】
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稀有金属与硬质合金
【发表日期】
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2009年4期
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