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期刊论文
气体放电实验与帕邢定律
气体放电实验与帕邢定律
来源 :物理实验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dt
【摘 要】
:
利用真空镀膜机的离子轰击装置研究了气体放电电压与气体压力的关系.在保持气体放电电流不变的情况下,气体放电电压是气体压力的函数.改变气体压力时,放电电压有一极小值.这种关系
【作 者】
:
侯清润
茅卫红
陈宜保
【机 构】
:
清华大学物理系
【出 处】
:
物理实验
【发表日期】
:
2004年1期
【关键词】
:
帕邢定律
气体放电
真空镀膜
离子轰击
放电电压
气体压力
真空电子学
glow discharge Paschen law vacuum deposition
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利用真空镀膜机的离子轰击装置研究了气体放电电压与气体压力的关系.在保持气体放电电流不变的情况下,气体放电电压是气体压力的函数.改变气体压力时,放电电压有一极小值.这种关系可用帕邢定律来解释。
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