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根据TFT阵列工艺中的各种膜的组成结构，分析了特气在成膜、刻蚀和清洗等工艺过程中的主要物理和化学过程。对特气按危险性进行了分类，介绍了供气系统和废气处理的方案以及废气处理应达到的指标。
TFT-LCD阵列工艺中的特气技术
【摘 要】
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根据TFT阵列工艺中的各种膜的组成结构，分析了特气在成膜、刻蚀和清洗等工艺过程中的主要物理和化学过程。对特气按危险性进行了分类，介绍了供气系统和废气处理的方案以及废气
【机 构】
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中国电子工程设计院
【出 处】
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工程建设与设计
【发表日期】
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2008年9期
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