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不管如何强调CD-SEM在度量学上的重要性都是不为过的。然而,似乎目前的工具已经止步于1keV到数百电子伏特的运行能量,其原因是在该能量范围内可以获得最佳的束相互作用,同时还可将充电效应降至最低并可限制光刻胶收缩。
SEM还有未来吗？
【摘 要】
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不管如何强调CD-SEM在度量学上的重要性都是不为过的。然而,似乎目前的工具已经止步于1keV到数百电子伏特的运行能量,其原因是在该能量范围内可以获得最佳的束相互作用,同时
【机 构】
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SeniorEditor
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2008年3期
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