一种基于光电极值法的光学膜厚监控系统的改进设计

来源 :应用光学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:naonao19890925
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介绍目前通用的基于光电极值法的光学膜厚监控系统的特点 ,针对其缺点进行改进设计 ,新系统的稳定性有较大提高 ,可满足镀制多层介质薄膜器件的要求。
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