二氯二氢硅终端纯化器的研制

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ananluo2009
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采用化学改性的吸附剂和络合剂,能够有效地除去气体中的金属和硼、砷、磷等非金属杂质。纯化后的气体经气相色谱分析表明,化学改性的吸附剂和络合剂对二氯二氢硅无歧化作用。
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