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研制了利用直线法设计的基于GaAs衬底上的Mach—Zehnder行波光调制器．波导层使用了场诱折射率改变量较大的非对称多量子阱结构，采用脊型波导，并湿法刻蚀出台面以消除波导区以外的载流子引起的损耗。调制器电极微波特性测试结果表明频率响应在2．5～20GHz没有明显的起伏，但在低频段响应下降很快，另外微波损耗较大，讨论了其原因和改进方法。