位置精度达10毫微米的液压材料试验系统

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由于液压材料试验系统存在主要来自伺服阀的固有缺陷,使得试验系统的活塞常在规定位置附近有1微米的波动.利用汽缸中的液压轴承并精心选择油温和油压可使系统的定位精度达0.2微米.借助于压电瓷片的电控伸缩可以补偿这些不应有的运动从而进一步提高其定位精度.本文叙述压电瓷片的机械设计和控制电路.在样机中当活塞速度达0.3毫米/秒时获得了比10毫微米更好的定位精度. Due to the inherent defects of the hydraulic material test system mainly from the servo valve, the piston of the test system often has 1 micron fluctuation near the specified position .Using the hydraulic bearings in the cylinder and careful selection of the oil temperature and the oil pressure can make the system’s positioning accuracy up to 0.2 microns. With the help of the piezoelectric ceramic piezoelectric expansion can compensate for these unwanted movements to further improve its positioning accuracy.This article describes the mechanical design of piezoelectric ceramic and control circuit in the prototype when the piston speed of 0.3 mm / Sec gives better positioning accuracy than 10 nm.
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