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期刊论文
刻蚀设备中射频功率全态输出技术的研究
刻蚀设备中射频功率全态输出技术的研究
来源 :价值工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jybertrand123
【摘 要】
:
本文主要讲述了刻蚀设备在进行工艺时,射频发生器产生的射频信号输出到自动匹配网络,然后输入到工艺腔室的下电极。在整个刻蚀过程中,反射功率无限小,射频功率全态输出,不仅
【作 者】
:
赵涛
陈黄鹂
张琦
赵卫
【机 构】
:
西安电力电子技术研究所
【出 处】
:
价值工程
【发表日期】
:
2018年25期
【关键词】
:
射频发生器
自动匹配网络
反射功率
RF source
audio management unit
reflection power
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本文主要讲述了刻蚀设备在进行工艺时,射频发生器产生的射频信号输出到自动匹配网络,然后输入到工艺腔室的下电极。在整个刻蚀过程中,反射功率无限小,射频功率全态输出,不仅损耗减少,而且可以提高刻蚀效率。
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