微电子机械系统研究领域的最新进展——IEEE MEMS 2018国际会议综述

来源 :太赫兹科学与电子信息学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhangwahaha

【摘要】

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<正>18年1月21日至25日在英国贝尔法斯特会展中心举行(见图1),吸引了来自世界各国相关领域的600余位专家学者,共同探讨微纳传感工艺等领域的最新进展与科学前沿。此次会议的

【作者】

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宋宇张海霞

【机构】

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北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室

【出处】

：

太赫兹科学与电子信息学报

【发表日期】

：

2018年02期

【关键词】

：

微机电系统 IEEE MEMS 2018 微电子机械系统

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<正>18年1月21日至25日在英国贝尔法斯特会展中心举行(见图1),吸引了来自世界各国相关领域的600余位专家学者,共同探讨微纳传感工艺等领域的最新进展与科学前沿。此次会议的大会主席由来自瑞士电子与微技术中心(CSEM)的Michel Despont教授与爱尔兰都柏林城市大学的Jens Ducrée教授共同担任,并设置了最佳口头报告奖与最佳张贴报告奖,得到了国际电气与电子工程协会(IEEE)与IEEE机器人与自动化学会等多个国际组织

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