【摘 要】
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ITO靶材是导电玻璃、LED、太阳能电池等行业的核心材料之一。综合评述了高密度ITO靶材的研究现状。介绍了ITO粉末的制备方法如机械混合法、喷雾热分解法、喷雾燃烧法、化学共
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ITO靶材是导电玻璃、LED、太阳能电池等行业的核心材料之一。综合评述了高密度ITO靶材的研究现状。介绍了ITO粉末的制备方法如机械混合法、喷雾热分解法、喷雾燃烧法、化学共沉淀法、金属醇盐水解法、水热合成法等以及ITO靶材的制备工艺。比较和分析了ITO粉体和靶材各制备工艺的优缺点。最后提出了制备高品质ITO靶材的研究方向。
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