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采用溶胶–凝胶法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基底上沉积了Bi3.5Nd0.5Ti3O12(BNT)铁电薄膜。采用铁电分析仪测试铁电极化(P-E)特性、疲劳特性以及漏电流(J-V)特性。结果表明:极化翻转次数越多,驱动电场的频率越低,驱动电场的幅度越大,Bi3.5Nd0.5Ti3O12铁电薄膜的极化疲劳行为越显著。