【摘 要】
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用原子层沉积方法在柔性PET衬底上制备了AZO（掺铝氧化锌）薄膜,研究了Al的掺杂对ZnO薄膜的形貌,光学性能和电学性能的影响,结果表明：当掺杂量约为3%的AZO薄膜表面比较平整,晶粒分
【机 构】
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长春理工大学,中科院西安光学精密机械研究所
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用原子层沉积方法在柔性PET衬底上制备了AZO（掺铝氧化锌）薄膜,研究了Al的掺杂对ZnO薄膜的形貌,光学性能和电学性能的影响,结果表明：当掺杂量约为3%的AZO薄膜表面比较平整,晶粒分布比较均匀,薄膜仍具有纤锌矿晶体结构,由于掺杂所引入的应力使得薄膜的C轴取向性有所退化;PL光谱表明,与带边相关的激子发射谱没有明显变化,但与缺陷相关的发光明显增强。同时HALL测试得到AZO薄膜载流子浓度相比ZnO薄膜提高了大约一个数量级（3%Al掺杂时,为3.62X1020）,但迁移率有所降低（3%Al掺杂时为9.66
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