InP材料UV激光直接刻蚀研究

来源 :吉林大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：vincent1115

【摘要】

：

利用UV激光的光解剥离(APD)效应,对半导体材料InP进行了直接刻蚀研究,获得了良好的结果。采用波长为308nm,光脉冲宽度20ns的XeCl)准分子激光器,APD刻蚀的光能量密度阈值为390

【作者】

：

张玉书张庆有

【机构】

：

吉林大学电子科学系,吉林大学电子科学系

【出处】

：

吉林大学自然科学学报

【发表日期】

：

1990年4期

【关键词】

：

半导体激光刻蚀光解剥离准分子 excimer laser ablative photodecomposition bond photo-broken

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利用UV激光的光解剥离(APD)效应,对半导体材料InP进行了直接刻蚀研究,获得了良好的结果。采用波长为308nm,光脉冲宽度20ns的XeCl)准分子激光器,APD刻蚀的光能量密度阈值为390mJ/cm~2;与理论结果相比较,两者具有良好的一致性。同时给出了刻蚀深度与脉冲速率及脉冲时间的实验曲线。更多还原

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