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采用双离子束共溅射法制备的SiOx薄膜为非晶结构,在室温下观察到了可见光致发光(PL)现象,探测到样品有四个PL峰,它们的峰位分别为～320nm,～410nm,～560nm和～630nm,且峰位和峰强随温度(基片温度Ta和退火温度Ta)的变化而发生变化,并对实验结果进行了讨论.
温度对非晶SiOx薄膜的光致发光特性的影响
【摘 要】
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采用双离子束共溅射法制备的SiOx薄膜为非晶结构,在室温下观察到了可见光致发光(PL)现象,探测到样品有四个PL峰,它们的峰位分别为～320nm,～410nm,～560nm和～630nm,且峰位和峰强随温
【机 构】
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天津理工大学光电系,苏州大学理学院物理系
【出 处】
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苏州大学学报(自然科学)
【发表日期】
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2001年3期
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