【摘 要】
：
200 mm尺寸的硅外延片是制备VDMOS功率器件的关键材料,其均匀性、结晶质量等材料技术指标与器件耐压、正向导通特性等电学性能密切相关,因此对大尺寸外延层的参数控制水平提
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十六研究所
论文部分内容阅读
200 mm尺寸的硅外延片是制备VDMOS功率器件的关键材料,其均匀性、结晶质量等材料技术指标与器件耐压、正向导通特性等电学性能密切相关,因此对大尺寸外延层的参数控制水平提出了严格要求。但由于反应区域面积较大、涉及反应因素条件较多,传统外延工艺下边缘参数偏离目标值5%~10%,无法满足器件要求,各项工艺条件的配合度成为亟待解决的技术问题。通过外延系统流场和热场的优化,可将外延片内的厚度和电阻率不均匀性控制在3%以内,并且结晶质量良好,实现了高质量200 mm硅外延片的生长。
其他文献
根据对学生的走访、调查,过去我们的学生热衷于"圣诞节"、"愚人节"、"万圣节"等西洋节日,一部分原因是由于西方经济的强盛导致青年学生探索欲望增强,希望能够通过体会该国文
目的探讨设计从"有我之境"到"无我之境"的过程中,物境、情境、意境理论在现代设计中的价值认知与应用策略。方法通过对设计中"三层境界"的研究,明确其与设计本质的关系;通过
为了推进中国经济进一步发展,带动周边区域经济共同进步,2013年9月在哈萨克斯坦,习近平主席提出共同建设"丝绸之路经济带"的概念,之后在印度尼西亚提出"海上丝绸之路"的概念,
采用DeST软件,对夏热冬冷地区外墙保温的住宅进行了全年的能耗模拟,分析了不同外墙保温形式对住宅负荷的影响·
<正>现在是苹果上市的季节,不少家庭由于存放不当,导致苹果很快腐烂变质。那么如何才能很好地贮存苹果呢?以下不妨一试:气贮法又称二氧化碳贮存法。用无毒塑料袋,将苹果装起
<正>一年中大大小小的招商会无数场,但利用招商会成功招到商签到单的却屈指可数。成功的招商会策划是集公关、宣传、造势为一体的综合学科,细节决定成败,招商会前期打电话邀
随着人们的生活水平正在逐年提升,汽车的需求量也越来越大。汽车电气系统是当今汽车发展过程中的重要系统,对于实现汽车的电子化和网络化具有至关重要的作用。总线技术在汽车
随着素质教育工作的开展,自主探究、合作交流的模式在课堂中深受欢迎。本文就这种模式在人教版初中数学中的应用展开叙述,对教学过程中可能出现的问题提出相应的解决方法,希
通过对现有合同附随义务案例的分析,发现司法审判中对合同附随义务问题存在许多争议,没有达成统一的认识,主要原因在于现行法律规定比较抽象以及法学理论研究尚显单薄,不能为
利用PE2061s型常压桶式多片外延炉,在P型双埋层图形硅衬底上沉积生长高均匀性低缺陷的N型外延层。通过研发衬底背面杂质掩蔽、附面层虹吸效应、高补偿缓冲层生长等技术,使外