一种新型固态静电传感器的设计与模拟

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电场测量系统广泛应用于航空、航天、国防、气象、电力等多个领域。根据电场传感器工作原理,电场传感器可以分为光学(光纤)式和电荷感应式两大类。电荷感应式电场传感器有旋片结构、双球结构、火箭结构和MEMS结构。文中给出了一种新型的MOSFET感应式电场传感器,并用MEDICI软件进行了模拟。模拟结果表明MOSFET感应式电场传感器的感应电流I_E和电场强度E有良好的线性关系。
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