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对材料纳米力学性能测试手段进行了研究，着重分析了纳米压痕技术的原理和方法。结合纳米压痕技术，采用尖端四面体Vickers型单晶金刚石压头对单晶硅（100）晶面进行了纳米压痕实验测试。实验发现，在载荷为1000mN时，晶体硅出现了明显的裂纹和脆性断裂；而在载荷低于80mN的情况下，晶体硅则表现出延性特性。此外，在不同载荷条件下对晶体硅的硬度进行了实验测试，测试结果发现，不同载荷条件下晶体硅的硬度测量值存在较大的差异，认为导致这种差异的原因在于压痕区域晶体硅所受压力不同，使得晶体硅内部结构发生了改变，较为准确