热光可调谐Si基聚合物列阵波导光栅

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报道了用五氟苯乙烯共聚甲基丙烯酸环氧丙酯(PFS-co-GMA)的聚合物材料制备的33×33信道热光(TO)可调谐的阵列波导光栅(AWG)。给出了器件的制作工艺流程和测试结果。测得器件的波长间隔为0.81nm,3dB带宽为0.35nm,串扰约为-20dB,中心输出信道和边缘输出信道的插入损耗分别为10.4dB和11.9dB,TO可调谐值为-0.12nm/K,在温度为10~65℃时的器件工作中心波长为1545.21~1551.81nm,调谐范围为6.6nm。 A 33 × 33 channel tunable arrayed waveguide grating (AWG) made of a polymeric material of pentafluorostyrene copolymerized glycidylmethacrylate (PFS-co-GMA) has been reported. The device manufacturing process and test results are given. Measured wavelength of the device is 0.81nm, 3dB bandwidth of 0.35nm, crosstalk of about -20dB, the center output channel and the edge of the output channel insertion loss were 10.4dB and 11.9dB, TO tunable value of -0.12nm / K , The working wavelength of the device is 1545.21 ~ 1551.81nm and the tuning range is 6.6nm when the temperature is 10 ~ 65 ℃.
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