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介绍了中国科学院物理研究所离子束研究室的主要设备、分析方法、离子注入材料改性研究以及近年来在半导体材料、高Ｔｃ超导材料、环保等领域中的研究工作。
中国科学院物理研究所的离子束分析及离子注入改性研究
【摘 要】
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介绍了中国科学院物理研究所离子束研究室的主要设备、分析方法、离子注入材料改性研究以及近年来在半导体材料、高Ｔｃ超导材料、环保等领域中的研究工作。
【机 构】
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中国科学院物理研究所,中国科学院物理研究所北京100080,北京100080,北京100080
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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1993年10期
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