固体表面分析方法和仪器发展概况

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一、 引言(l)-(9) 在最近十几年中,固体表面和表面效应的研究是非常吸引人的,极为活跃的,并取得了很大成就。这与表面分析方法和仪器的迅速发展和广泛应用是分不开的。 有些金属、半导体或绝缘体的制品的表面组份、结构、状态,对其性能有较大影响。为保证产品质量,可靠性、稳定 I. INTRODUCTION (l) - (9) In recent ten years, the study of solid surface and surface effects has been very attractive, extremely active and has achieved great success. This is with the rapid development of surface analysis methods and instruments and widely used are inseparable. Some metal, semiconductor or insulator products surface composition, structure, status, have a greater impact on their performance. To ensure product quality, reliability, stability
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