【摘 要】
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介绍了用于大范围高精度纳米测量的方法和当前的发展动态。给出了大范围高精度纳米测量所取得的成果及具体的仪器装置。提出了一种基于合成波长条纹细分原理的新颖的纳米测量
【机 构】
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浙江大学机械工程系,浙江理工大学测控系,浙江大学机械工程系 浙江杭州 310027,浙江杭州 310033 ,浙江杭州 310027
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介绍了用于大范围高精度纳米测量的方法和当前的发展动态。给出了大范围高精度纳米测量所取得的成果及具体的仪器装置。提出了一种基于合成波长条纹细分原理的新颖的纳米测量方法,在数十毫米的测量范围内,理论上可以达到1/440000的细分系数。
The methods and current developments for a wide range of high-precision nanometer measurements are presented. The results of large-scale high-precision nano-measurement and the specific instrumentation are given. A novel nanometer measurement method based on the principle of subdivision of the synthesized wavelength stripes is proposed. In the measurement range of several tens of mm, the subdivision coefficient of 1/440000 can theoretically be achieved.
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