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期刊论文
UTB结构量子化效应解析模型
UTB结构量子化效应解析模型
来源 :北京大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:pommylo
【摘 要】
:
通过在UTB结构中利用矩形势垒近似求解沟道的薛定谔方程,应用费米统计建立了UTBMOSFET阈值区载流子量子化的一个解析模型。并利用自恰求解薛定谔方程和泊松方程的结果对模型进
【作 者】
:
王雅科
刘晓彦
韩汝琦
【机 构】
:
北京大学微电子学研究所
【出 处】
:
北京大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2004年3期
【关键词】
:
UTB结构
量子化效应
反型层电荷
UTB quantum-mechanical effects inversion layer charge
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通过在UTB结构中利用矩形势垒近似求解沟道的薛定谔方程,应用费米统计建立了UTBMOSFET阈值区载流子量子化的一个解析模型。并利用自恰求解薛定谔方程和泊松方程的结果对模型进行了验证,分析了UTB结构中阈值电压随硅膜厚度变化的关系。
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