【摘 要】
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针对传统的工艺加工敏感元件周期长、零件间摩擦阻尼大的特性,提出基于3D刻录技术电涡流传感器的改良型敏感元件加工制备方法。设计工艺包括了敏感元件的模型建立,参数调整和
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针对传统的工艺加工敏感元件周期长、零件间摩擦阻尼大的特性,提出基于3D刻录技术电涡流传感器的改良型敏感元件加工制备方法。设计工艺包括了敏感元件的模型建立,参数调整和实测效果验证等。实验结果表明,3D刻录涡流传感器线性范围为0~5 mm,非线性误差为0.7%,有更宽的线性范围和更好的响应灵敏度。与传统工艺制造的传感器相比,3D刻录涡流传感器具有更低的制造成本,打印模块重复利用率高,可以通过多次原型迭代来优化传感器性能。
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