【摘 要】
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本文介绍了Ｆｅ－Ｎｉ软磁薄膜高频磁阻抗效应及在磁传感技术中的应用，分析了讨论了获得高灵敏度磁传感的途径，磁性薄膜厚度的一般控制在４００ｎｍ以上抑制Ｎｅｅｌ壁的出现，为了提高电压输出变化灵敏度，需要
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本文介绍了Ｆｅ－Ｎｉ软磁薄膜高频磁阻抗效应及在磁传感技术中的应用，分析了讨论了获得高灵敏度磁传感的途径，磁性薄膜厚度的一般控制在４００ｎｍ以上抑制Ｎｅｅｌ壁的出现，为了提高电压输出变化灵敏度，需要沿被测场方向加向Ｏｅ的偏磁场并使高频磁场形成闭合回路，感生各向异性通过在溅射薄膜过程中加几百Ｏｅ平行于膜的直流磁场获得，与各向异性磁阻效应和巨磁阻效应相比，高频磁阻抗效应传感技术灵敏度高，无巴克豪森噪声，
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