论文部分内容阅读
研究了0.18μm SiGe BiCMOS中的核心器件SiGe HBT的关键制造工艺,包括集电极的形成、SiGe基区的淀积、发射极窗口的形成、发射极多晶的淀积、深孔刻蚀等,指出了这些制造工艺的难点和问题,提出了解决办法,并报导了解决相关难题的实验结果。
SiGe BiCMOS工艺中HBT的关键制造工艺研究
【摘 要】
：
研究了0.18μm SiGe BiCMOS中的核心器件SiGe HBT的关键制造工艺,包括集电极的形成、SiGe基区的淀积、发射极窗口的形成、发射极多晶的淀积、深孔刻蚀等,指出了这些制造工艺
【机 构】
：
上海华虹NEC电子有限公司
【出 处】
：
固体电子学研究与进展
【发表日期】
：
2012年4期
其他文献
家庭教育是一个人在家庭所接受到的教育,它可以是一次对话,可以是一句评论,甚至一个眼神。日本家庭教育相较我国,更加注重孩子成长过程中独立意识、创新意识、毅力以及礼仪等
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
期刊
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
一晃30年过去了,很多事在淡薄,自己也成了耄耋老人。友人建议我将这段经历写出来,我只好尽其所能,毕竟,我也算是一个当事人。一“文革”后,江丰落实政策回到了中央美术学院。
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
成纤维细胞生长因子8（fibroblast growth factor8，FGF8）是成纤维细胞生长因子家族的成员之一，是一种组织发育过程中的重要分泌性调控信号分子，参与脊椎动物的多种组织器官的发生与
国务院批转国家发改委《关于2014年深化经济体制改革重点任务的意见》。虽然说这是每年的一项例行公事,但此次的《意见》还是提出了不少改革的亮点。其中,要坚持问题导向,紧
期刊
随着农村劳动力大量转移,开发出一种操作简便、生产效率高、作业质量好、适用能力强、性价比高的烤烟移栽机,已成为烟农的迫切要求。目前,云南省烟草公司楚雄州公司与昆明理
用中国产双翅目有瓣蝇类6科15种和GenBank中登录的5科6种有瓣蝇类昆虫的28S rDNA序列片段组合成7科21种，进行同源性比较。应用Mega3．0软件，探讨了28S rRNA基因在有瓣蝇类的分子
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield