【摘 要】
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一台超精密电火花成形机,配置有定心显微镜,显微镜本身制造精度5μｍ。当在一段0.6ｍｍ×1.2ｍｍ的不锈钢圆柱体中部加工一个0.2ｍｍ的通孔时,要求孔中心对圆柱体两端面的对称度小于10μｍ。
【机 构】
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中国工程物理研究院核物理与化学研究所
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一台超精密电火花成形机,配置有定心显微镜,显微镜本身制造精度5μｍ。当在一段0.6ｍｍ×1.2ｍｍ的不锈钢圆柱体中部加工一个0.2ｍｍ的通孔时,要求孔中心对圆柱体两端面的对称度小于10μｍ。通过用反拷法制作出加工0.2ｍｍ孔的电极,这样制造的电极与机床主轴的同轴度自然很好,
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