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150～500mm长度的各种X射线光学元件可用于光束导引，光束调整，以及单色化。本文介绍了两种不同的大型X射线反射镜。第一种为单层反射镜，这种反射镜以2。掠入射角在软X射线区（50～200eV）起全反射镜作用，可用于自由电子激光器，如德国汉堡的FLASH。第二种是多层镜，由于它的布喇格反射特性，适于作为反射镜以0．4～1^o的入射角用于硬X射线区（20～50keY），如层析光束线的同步辐射存储环中。两种反射镜都用最新物理汽相淀积法制备，并用磁控溅射来实现X射线光学应用所需要的优良光学品质。这一淀积工艺使不