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微电子机械的研究及其应用
微电子机械的研究及其应用
来源 :机械与电子 | 被引量 : 0次 | 上传用户:william_wng
【摘 要】
:
介绍了微电子机械的研究对象;理论基础,技术基础;给出了微电子机械在空间科学,医疗、军事和工业上的应用。
【作 者】
:
蒋世祥
朱世强
【出 处】
:
机械与电子
【发表日期】
:
2000年4期
【关键词】
:
微电子机械
应用
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介绍了微电子机械的研究对象;理论基础,技术基础;给出了微电子机械在空间科学,医疗、军事和工业上的应用。
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