β-BBO基ZrO2／SiO2倍频增透膜的结构和成分对光学性能的影响

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：guojunaaaa

【摘要】

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利用Macload软件对四层ZrO2/SiO2膜系进行优化设计,以β-偏硼酸钡晶体(β-BaB2O4)为基底,采用电子束蒸发方法、离子束辅助沉积技术和真空退火处理,制备出ZrO2/SiO2非规整倍频

【作者】

：

陈长琦鲁嘉方应翠王君李万福周瑞

【机构】

：

合肥工业大学,合肥普乐光技术有限公司

【出处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2005年6期

【关键词】

：

ZrO2/SiO2非规整倍频增透膜光学性能电子束蒸发离子束辅助沉积技术真空退火 ZrO2/SiO2 second harmonics anti-refl

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利用Macload软件对四层ZrO2/SiO2膜系进行优化设计,以β-偏硼酸钡晶体(β-BaB2O4)为基底,采用电子束蒸发方法、离子束辅助沉积技术和真空退火处理,制备出ZrO2/SiO2非规整倍频增透膜,其在波长532 nm和1064 nm处反射率小于0.35%和透射率高于90%,与软件设计膜系得到的理论值相一致.研究结果表明薄膜的填隙密度越高,致密度越好,其光学性能也越好.

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