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针对薄膜材料透射电镜截面样品制备过程复杂、制样成功率低的问题,本文详细介绍了一种操作简单、实用性强的制备方法,采用该方法可以成功制备出脆性衬底上薄膜材料的TEM截面样品。
薄膜材料透射电镜截面样品的简单制备方法
【摘 要】
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针对薄膜材料透射电镜截面样品制备过程复杂、制样成功率低的问题,本文详细介绍了一种操作简单、实用性强的制备方法,采用该方法可以成功制备出脆性衬底上薄膜材料的TEM截面
【机 构】
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北京大学物理学院
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2015年4期
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