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本文主要研究光的偏振性对线径高精度的影响，线径包括金属狭缝，金属窄条和金属细丝。文中给出了测量实验结果，通过电磁场矢量衍射分析，进行了理论计算，理论计算与实验结果符合得较好。
衍射法高精度线径测量中偏振效应的研究
【摘 要】
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本文主要研究光的偏振性对线径高精度的影响，线径包括金属狭缝，金属窄条和金属细丝。文中给出了测量实验结果，通过电磁场矢量衍射分析，进行了理论计算，理论计算与实验结果符合得较
【机 构】
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安徽教育学院物理系
【出 处】
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量子电子学报
【发表日期】
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1999年5期
【基金项目】
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安徽省教委基础研究基金
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