论文部分内容阅读
微机电系统(Micro Electron-Me-chanical System,MEMS),也有人称之为微系统(Microsystem,MST),基本上是一种将半导体、机械、材料等不同领域的工程技术整合在单一微小装置上的工艺技术,其应用范围传统上包含军事国防、航天工业、医疗器材、光学组件、汽车电子等领域.举例来讲,以军事与航天应用为主的陀螺仪、医疗应用上的微质流控制器、汽车应用上的胎压传感器、撞击传感器、甚至一般消费者天天接触的打印机喷墨头、光盘读写头等产品,都是以MEMS工艺技术生产的.