磁控溅射旋转阴极的换热计算与流固热耦合分析

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gongleiwp
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
分析了影响旋转阴极换热的因素,提出一种阴极冷却系统的设计方案。基于流体力学、传热学理论,根据整理自实验结果的相似准则和经验公式,应用所设计的旋转阴极换热数学模型进行了水冷系统性能参数计算,并通过有限元模拟的流固热耦合方法分析,数值仿真研究了实际工作状态下的阴极瞬态换热,得到阴极换热状态及温度分布随时间变化的规律,进一步验证了换热数学模型水冷系统性能参数计算结果。这种结合数值计算和有限元仿真的研究思路及方法,可为旋转阴极冷却系统的设计和优化提供理论依据和重要参考。 The factors affecting the heat transfer of the rotating cathode are analyzed, and a design scheme of the cathode cooling system is proposed. Based on the theory of fluid mechanics and heat transfer, according to the principle of organizing the experimental data and the empirical formula, the rotating cathode heat transfer mathematical model was designed to calculate the performance parameters of the water cooling system. The fluid-solid coupling method Analysis and numerical simulation of the cathode transient heat transfer under actual working conditions, the law of the cathode heat transfer state and temperature distribution over time are obtained, and the calculation results of the performance parameters of the water cooling system of the heat transfer mathematical model are further verified. This combination of numerical and finite element simulation ideas and methods for the design and optimization of the rotating cathode cooling system provide a theoretical basis and an important reference.
其他文献
本文根据云南省富源县富村镇与罗平县富乐镇交界的块泽河水电站的地形进行的分析,详细的论述块泽河水电站准备施工从到竣工中所遇到的问题。 Based on the analysis of the
期刊
一、清查填表阶段工作1.加强组织领导,强化分工负责新疆维吾尔自治区水利普查领导小组高度重视水利普查清查阶段工作的开展,2011年3月18日,第一次全国水利普查清查登记工作启
近日,为迎接审计署对全省土地出让收支和耕地保护情况进行的为期两个月的审计工作,巩义规划中心建立了电子台账,将2008年至2013年这6年来所有建设用地的审批情况进行梳理、汇总
西江与港珠澳大桥 物流通道有望无缝对接rn未来珠海将大力推动江桥通道对接,建设珠江西岸综合物流枢纽,实现西江物流通道与港珠澳大桥物流通道的无缝对接.rn据了解,2009年,在
期刊
通过对河南林业发展现状和存在的主要问题的分析 ,提出了河南林业可持续发展的目标以及实现目标的主要措施 Through the analysis of the current situation and existing p
西安摧毁最大的黑心棉制造窝点rn2001年12月3日rn凌晨5:30,记者随同西安市质监局雁塔分局稽查人员来到西安市丈八北路,在该路西段的省建十一公司废弃工棚区外设点等候(这里是
本刊讯10月26日至27日,由新乡市政府、河南省科技厅、河南省教育厅共同主办,以“创新引领发展协同融合共赢”为主题的第一届高校院所河南科技成果博览会,在新乡市隆重举行.河
期刊
铝合金门窗的渗漏问题是门窗装修工程中的质量通病,其渗漏必然会引起外墙、内墙、地面的破坏,所造成的经济损失更是难以估量.随着我国民用住宅日趋高层化,门窗的单体面积日趋
针对目前香菇生产中存在的技术专业化程度不高、随意性较大的现状,课题组进行了香菇菌种标准化、栽培基质配方标准化、菌棒制作工艺标准化、栽培设施和技术标准化以及壳聚糖