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研究了用等离子体增强化学气相沉积方法，经过后处理制备出ＳｉＮｘＯｙ薄膜，测量了其光致发光特性，观测到强度大约为多孔硅薄光发射１０倍的蓝光和紫外光的发射。此外，测量了其Ｘ射线衍射，对其成分和结构做了一定的分析和研究。
SiNxOy薄膜的制备和紫外光,蓝光发射
【摘 要】
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研究了用等离子体增强化学气相沉积方法，经过后处理制备出ＳｉＮｘＯｙ薄膜，测量了其光致发光特性，观测到强度大约为多孔硅薄光发射１０倍的蓝光和紫外光的发射。此外，测量了其Ｘ射线衍射，对其成分和
【机 构】
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汕头大学科学院材料所,汕头大学理学院
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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1999年5期
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