2. 您的位置
3. 首页
4. 期刊论文
5. 蓝宝石衬底多层AlGaN薄膜透射谱研究

蓝宝石衬底多层AlGaN薄膜透射谱研究

来源 :光学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zxzcmj

【摘 要】

：

全组分AlGaN是指Al组分(原子数分数)在0～1之间的AlGaN.通过将组分引入到AlGaN的复折射率中,在200～800 nm光谱范围内建立了全组分AlGaN复折射率公式.通过椭圆偏振法获得了蓝宝石

【作 者】

：

李浩杰 张燕 

【机 构】

：

中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室,上海200083;中国科学院大学,北京100049

【出 处】

：

光学学报

【发表日期】

：

2020年19期

【关键词】

：

薄膜 AlGaN 全组分 光学性质 多层薄膜模型 透射谱拟合 

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文 赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

全组分AlGaN是指Al组分(原子数分数)在0～1之间的AlGaN.通过将组分引入到AlGaN的复折射率中,在200～800 nm光谱范围内建立了全组分AlGaN复折射率公式.通过椭圆偏振法获得了蓝宝石的光学参数,并利用透射谱进行了验证.利用上述复折射率公式和多层光学薄膜模型研究了蓝宝石衬底多层AlGaN薄膜样品的透射谱,分析了各层薄膜对样品透射谱的影响以及工艺可能造成的实际结构的偏移,提出了一种多层薄膜透射谱的快速分析法.

其他文献

黑龙江省人民政府关于印发黑龙江省建立城镇职工基本医疗保险制度总体规划的通知

各行政公署,各市、县人民政府,省政府各直属单位:现将《黑龙江省建立城镇职工基本医疗保险制度的总体规划》印发给你们,请结合本地实际情况,认真贯彻执行。 All administra

期刊

总体规划基本医疗保险医疗保险费个人账户统筹基金保险经办机构补充医疗保险最高支付限额缴费率支付范围

东盟投资区域研讨会在缅甸举行

东南亚国家联盟(东盟)投资区域研讨会日前在缅甸举行,旨在让柬、老、越、缅四个东盟新成员国负责投资问题的高级官员对外国直接投资、全球外资流向趋势等加深了解,以便更好地

期刊

投资区域区域协定缅四外国直接投资投资问题金融危机统计数字

中国信息资源市场的监管

信息资源市场监管对信息资源市场的健康发展具有重要作用.本文主要研究了我国信息资源市场监管的必要性、信息资源市场监管的现状和存在的问题以及相应的完善措施，提出了健全

会议

中国信息资源资源市场市场监管完善措施健康发展必要性问题

超轻离轴反射镜及柔性支撑优化设计

针对多光谱相机的整机设计秉承集成化、小型化和超轻质的设计理念,提出一种结合最小尺寸约束的变密度拓扑优化与多目标集成优化的设计方法,并借助此途径完成空间离轴微晶反射

期刊

光学器件空间遥感器离轴反射镜集成优化面形检测力学试验

高校教师科技创新团队建设研究

基于团队协作的高校科技创新活动已经成为我国科技研究的主流形式,本文以高校教师科技创新团队的建设为主要研究层面,系统描述了高校科技创新团队建设的现状,分析了高校科技

会议

高校教师高校科技创新创新团队科技团队建设科技创新活动主流形式相关建议系统描述

高阶交换子的Sharp极大函数估计及应用

本文建立了强奇异Calderón-Zygmund算子与BMO和Lipschitz函数生成的高阶交换子的Sharp极大函数估计,作为应用,可得到高阶交换子在Lebesgue和Morrey空间的有界性.

会议

高阶交换子Sharp极大函数Lipschitz函数Morrey空间有界性算子生成奇异BMO

股份公司公益捐赠决策权的法律归属及限制

股份公司捐赠行为既是公司履行社会责任的主要形式,也是实践中屡见不鲜的社会现象,但公司捐赠的决策应当由谁做出?如何保障公司捐赠中公司利益、股东利益和债权人利益?如何对

会议

股份公司公益捐赠决策权法律公司捐赠公司章程债权人利益问题

新时期 中国集邮新思维——“2002北京集邮论坛”发言摘要

2002年12月21日,由北京市集邮协会和宣武区集邮协会联合主办的“2002北京集邮论坛”在京举办。主题是“新时期,中国集邮新思维”。出席本次论坛的有中华全国集邮联副会长兼

期刊

全国集邮联电子邮票集邮博览传统集邮朱祖文奇实寄封政协主席钱敏发言摘要

英语后殖民文学中的逆写

文学作为文化的重要形式,是殖民主义扩张的有力工具.英国文学经典作品参与和推动了帝国的殖民事业.前殖民地作家也将文学作为抵抗的工具,对帝国的文化浸透进行反击,后殖民文

会议

英语后殖民文学文学中文学经典作品文化帝国主义批判性考察后殖民理论重要策略

集邮展品中\\"前言\\"的作用与写法

重庆汪子涛问 请问,集邮展品中的“前言”起什么作用?我正在组编一部传统集邮类展品,请介绍一下怎样写好“前言”。 答“前言”是指写在展品标题下的一段话,各类别展品有不同

期刊

传统集邮处置方法一本