【摘 要】
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在微电子学、光学、材料科学诸领域广泛应用的薄层材料的导温系数常用周期热流法测量。在对测量原理和实验方法研究的过程中，提出用半导体制冷元件通以调制电流来实现周期加热
【机 构】
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工程力学系,工程力学系,工程力学系
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在微电子学、光学、材料科学诸领域广泛应用的薄层材料的导温系数常用周期热流法测量。在对测量原理和实验方法研究的过程中，提出用半导体制冷元件通以调制电流来实现周期加热，在薄型样品的不同点粘或压接热电偶来测量温度，由两点温度变化的相位差来确定导温系数。同时为克服热电偶接合的偶然因素引起误差而采用双向加热的补偿方法．实测了厚度为５０～２００μｍ的不锈钢和铜箔，取得良好结果。
In the microelectronics, optics, materials science widely used in the field of thin-layer materials, the temperature coefficient of heat flux method commonly used to measure. In the process of measuring principle and experimental method, it is proposed to use the semiconductor cooling element to pass the modulation current to realize the cycle heating. The temperature is measured by sticking or crimping the thermocouple at different points of the thin sample. The phase difference To determine the temperature coefficient. At the same time to overcome the occasional cause of thermocouple junction error caused by two-way heating compensation method. Measured the thickness of 50 ~ 200μm stainless steel and copper foil, and achieved good results.
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