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无线无源声表面波生物传感器具有精度高、集成度高、应用范围广、适于大批量生产等优点，一直以来是生物传感器领域的重要内容。论文讨论了声表面波生物传感器的基本原理及其主要性能，简述了其生物固化膜的制备方法，并完成了声表面波换能器的基本设计。首先通过射频磁控溅射法制备了ZnO/SiO2/Si基片。控制溅射时长制得的基片氧化锌薄膜厚度分别为200纳米至2000纳米之间。由FSEM的尺寸测量对这些样品生长速率进行了定标，计算得到氧化锌薄膜的生长速率为每分钟10纳米。对制备所得的ZnO/SiO2/Si基片进行性能检测。将ZnO厚度为300纳米和600纳米的样品进行XRD和SEM检测。通过XRD的测量可以观察到各个样品的c轴取向性并可以计算出样品的氧化锌晶粒尺寸及其他晶体参数。通过FSEM测量可以观测到各个样品氧化锌薄膜的平整性、结晶质量等性质。本文着重讨论了退火温度对氧化锌薄膜的c轴取向性、结晶尺寸和晶粒均匀度等方面的性能，并通过对比可以得到结论：退火温度对薄膜的c轴取向性和结晶质量方面有比较大的影响。且随着氧化锌薄膜厚度的减小，所需的最佳退火温度应随之降低。对声表面波生物传感器的换能器进行设计。选择了电极宽度控制单相单向换能器（/SPUDT）为主要的换能器结构研究对象。通过耦合模理论进行模拟，在叉指周期数、中心频率、电极宽度等参数方面模拟了其插入损耗性能，得到了与实际经验较为相符的结果，并最终对换能器确定了设计参数，以用于改善声表面波生物传感器的整体性能。