基于条纹投影的显微镜自动对焦研究

来源 :光学学报 | 被引量 : 4次 | 上传用户：gloriayl2005

【摘要】

：

自动对焦技术是薄膜晶体管液晶面板(TFT-LCD)检测中非常重要的一环。针对TFT-LCD液晶面板的检测中需要快速准确地对焦到液晶面板被测面的问题,提出一种可自动对焦的显微镜系统。将数字光栅投影到物面上,先通过分光棱镜将光分成两路,一路被面阵CCD接收,另一路通过分光棱镜和反射镜将光栅的像分成两路,分别成像在线阵CCD的靶面上。通过线阵CCD上两个光栅图清晰度的对比实现离焦方向和离焦量的判断,使用

【作者】

：

刘璐闫佩正但西佐鲍思源王永红

【机构】

：

合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥230009

【出处】

：

光学学报

【发表日期】

：

2019年08期

【关键词】

：

显微自动对焦等周期光栅变周期光栅 microscopy autofocus equal-period grating variable-period gr

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