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探讨了液相沉积法制备类金刚石的新工艺，并采用XPS，Raman光谱和SEM等对所得膜的结构进行表征，证实所得的是类金刚石膜。液相沉积得到的类金刚石膜与钛合金基材之间具有较强的结合强度，并具有较低的摩擦系数和一定的耐磨损能力。
液相沉积类金刚石膜的结构与性能研究
【摘 要】
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探讨了液相沉积法制备类金刚石的新工艺，并采用XPS，Raman光谱和SEM等对所得膜的结构进行表征，证实所得的是类金刚石膜。液相沉积得到的类金刚石膜与钛合金基材之间具有较强的结
【机 构】
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苏州大学材料工程学院,苏州科技学院土木系
【出 处】
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化学工业与工程技术
【发表日期】
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2006年3期
【基金项目】
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江苏省基础研究计划（自然科学基金）资助项目,编号：BK2001414
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