【摘 要】
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<正> 超声检测中缺陷的定量也是人们研究的一个热点。缺陷定量可分为小于晶片直径的缺陷定量和大于晶片直径的缺陷定量。前者包括当量试块直接比较法、底波高度百分比法、当
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<正> 超声检测中缺陷的定量也是人们研究的一个热点。缺陷定量可分为小于晶片直径的缺陷定量和大于晶片直径的缺陷定量。前者包括当量试块直接比较法、底波高度百分比法、当量计算法和AVG曲线法。后者包括相对灵敏度测长法、绝对灵敏度测长法、极坐标作图法、包络线作图法和标准图形参照比较法等。除常规缺陷定量方法外,精确的缺陷定量多采用聚焦探头和各种声成象设备。
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