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<正>一、前言 近年来,超低温技术领域有着显著地进 展。例如,在利用超导磁铁的MRI装置（磁 共鸣诊断装置）、低温泵和约瑟夫逊器件等尖 端技术领域中所取得的成就就是一个明显的实 例。特别是小型、产业用的全封闭式氦液化致 冷装置更为引人注目。在这些液化致冷装置中 所采用的小型氦压缩机是往复压缩机。由于压 缩机的往复运动,其振动和噪音都很大,并且