【摘 要】
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对厚约3μm的金属钼薄膜进行低温离子渗硫处理,得到了单质金属钼与固体润滑剂二硫化钼(MoS2)共存的复合固体润滑渗硫层.利用SEM和EDX分析了复合渗硫层表面、截面及磨损面的形
【基金项目】
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国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)
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对厚约3μm的金属钼薄膜进行低温离子渗硫处理,得到了单质金属钼与固体润滑剂二硫化钼(MoS2)共存的复合固体润滑渗硫层.利用SEM和EDX分析了复合渗硫层表面、截面及磨损面的形貌及成分分布,用XPS分析了复合渗硫层表面化合价态,用纳米压痕仪测定了复合渗硫层的硬度及弹性模量.摩擦磨损实验表明,该渗硫层是一种非常理想的摩擦表面,具有优异的减摩耐磨抗擦伤性能.离子渗硫技术为原位合成固体润滑剂MoS2提供了一种新方法.
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