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Bi2Te3基热电材料由于在微电子、光电子等高技术领域具有潜在的应用前景，从而得到了人们的广泛关注。低维Bi2Te3基热电材料由于具有特殊的量子限制效应，已成为提高热电性能的有效途径。近年来，研究者非常重视Bi2Te3基热电薄膜的制备及性能研究，并做了大量相关的研究工作，许多制备方法也相继出现，并获得了高质量的Bi2Te3基热电薄膜。